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微纳加工

微纳加工

发布时间:2013-07-11   点击率:16952
聚焦离子束技术是一种集形貌观测、定位制样、成分分析、薄膜沉积和刻蚀各个过程于一身的新型纳米加工与分析技术。主要研究方向包括:纳米加工机理、高精度复杂微/纳结构和器件、微刀具、碳纳米管器件及TEM样品制备方法及技术等。 
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